本规范适用于光通信器件、光电传感器、光学镜头等光路耦合工艺相关洁净室的日常维护管理，旨在通过标准化维护流程，确保洁净室环境参数稳定，满足光路耦合亚微米级精度要求，保障产品良率与生产稳定性。

环境参数管控标准

1. 温湿度控制

· 核心光路耦合区（芯片贴装、光器件耦合等工序）温度控制在22±0.5℃，常规洁净区域温度控制在22±2℃；相对湿度维持在45%-55%RH。

· 每日定时记录温湿度数据，发现偏差超过允许范围时，需立即排查空调机组（HVAC）运行状态，确保温湿度波动不影响光路稳定性。

2. 洁净度控制

· 核心耦合工序区域洁净度需达到ISO 5级（百级），整体车间洁净度不低于ISO 8级（十万级）。

· 洁净区与非洁净区之间压差需保持在≥10Pa，百级区域换气次数不低于150次/h，定期监测风机过滤单元（FFU）运行状态，确保过滤效率达标。

3. 防微振控制

· 光路耦合设备需放置在气浮隔振平台上，远离冲床、风机等振动源。

· 定期检查隔振平台减震性能，严禁在光学平台周边进行剧烈震动操作，确保微米级振动不影响光路耦合精度。

人员与物料管理规范

1. 人员穿戴规范

· 进入洁净室人员需穿戴连体无尘服、无尘帽、无尘鞋、乳胶/丁腈手套、口罩及护目镜，严禁佩戴金属饰品，严禁化妆、涂抹护手霜等油性护肤品。

· 严禁在洁净室内进食、饮水、吸烟或进行其他可能产生污染的行为。

2. 进出流程规范

· 人员进入洁净室前需经过风淋室吹淋，吹淋时间不少于30秒，吹淋过程中需双手举起、原地旋转360度，确保全身浮尘被有效清除。

· 物料、工具进入洁净室前需通过传递窗或气闸室，外表面需使用无尘布蘸取试剂级酒精擦拭消毒，严禁将普通纸箱、铅笔、普通笔记本等易产尘物品带入洁净室。

光学元件清洁标准

1. 清洁工具要求

· 优先使用干燥氮气或CO₂气罐进行非接触式吹扫，配合无尘镜头纸、聚酯纤维拭子及试剂级异丙醇（IPA，纯度≥99.5%）进行接触式清洁。

· 严禁使用普通纸巾、衣物、含研磨成分的清洁剂，严禁用嘴直接吹扫光学元件。

2. 清洁操作流程

· 第一步：使用氮气枪（压力0.3-0.5MPa，距离5-10cm）垂直吹扫光学元件表面3次，去除大颗粒浮尘。

· 第二步：使用200倍显微镜或强光手电检查元件表面，若仍存在污渍，进入下一步清洁流程。

· 第三步：将IPA滴在无尘镜头纸上，采用从中心向外螺旋式单向轻拭的方式清洁，严禁来回摩擦或用力按压，避免划伤镀膜。

· 第四步：清洁完成后，多角度检查元件表面，确认无残留污渍或纤维。

3. 特殊元件清洁禁忌

· 裸金属膜（金、银、铝）元件：严禁接触式擦拭，仅可使用气吹吹扫。

· 光栅、微结构元件：严禁擦拭或超声波清洗，仅可吹扫。

· 塑料基底元件：严禁使用丙酮等有机溶剂，避免溶解基底材料。

设备与系统维护标准

1. 每日维护

· 检查FFU、空调机组运行状态，确认无异响、无震动。

· 使用无尘布擦拭设备外壳、操作台面，清理洁净室内废弃物并密封带出。

· 检查静电手环、离子风机接地状态，确保接地电阻≤1Ω。

2. 每周/每月维护

· 检查初效过滤器压差，当压差达到初始值1.5倍时及时更换。

· 检查风淋室风速（≥20m/s）及门互锁功能，确保吹淋效果。

· 对六维运动平台、光功率计等核心设备进行月度校准，确保精度符合要求。

3. 季度/年度维护

· 每6-12个月更换高效过滤器（HEPA），或进行PAO扫描检漏，确保过滤效率。

· 每年委托第三方检测机构对洁净室洁净度、沉降菌、浮游菌等参数进行全面检测，出具检测报告。

维护记录与异常处理

1. 建立完善的维护记录台账，详细记录每日温湿度、压差、设备运行状态及维护操作内容。

2. 发现环境参数异常或设备故障时，需立即停止相关工序，排查原因并修复，待参数恢复正常后方可恢复生产。

3. 定期组织维护人员培训，确保所有人员熟悉本规范要求，掌握正确的维护操作方法。

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