一、工程概况

本工程为福建某电子厂半导体千级无尘生产车间，设计内容主要为半导体净化车间工艺平面布置图、净化空调系统图、电气图纸等，涉及净化等级为千级切模加工区、万级辅助用房、十万级人流、物流通道；净化空调机组机房布置图；FFU系统图、干盘管涉及方案等。包括整体车间布局及人员参观通道。

二、净化装修设计方案说明

千级、万级区域吊顶采用玻镁彩钢板，墙体采用50型岩棉彩钢板，钢板厚度0.476，地面使用防静电环氧自流平，部分千级区域采用地面采用带孔板，底部做水循环处理。

三、净化空调方案设计说明

万级区域采用组合式恒温恒湿净化空调机组+高效送风口的形式，千级区域采用组合式恒温恒湿净化空调新风机组+干盘管+FFU高效送风单元的形式

千级无尘车间平面布置图

净化区域划分图

净化车间吊顶图