本工程为福建某电子厂半导体千级无尘生产车间,设计内容主要为半导体净化车间工艺平面布置图、净化空调系统图、电气图纸等,涉及净化等级为千级切模加工区、万级辅助用房、十万级人流、物流通道;净化空调机组机房布置图;FFU系统图、干盘管涉及方案等。包括整体车间布局及人员参观通道。
千级、万级区域吊顶采用玻镁彩钢板,墙体采用50型岩棉彩钢板,钢板厚度0.476,地面使用防静电环氧自流平,部分千级区域采用地面采用带孔板,底部做水循环处理。
万级区域采用组合式恒温恒湿净化空调机组+高效送风口的形式,千级区域采用组合式恒温恒湿净化空调新风机组+干盘管+FFU高效送风单元的形式
千级无尘车间平面布置图
净化区域划分图
净化车间吊顶图