国家出台了各项政策扶持国内的半导体产业发展，这是响应着中国“芯”计划的确立，研制第三代半导体，国产化十新基建，让芯片需求遍地开花，芯片的强动力和潜力可见一斑。环境及设备在半导体芯片的生产中的要求是极高的，福建永科带大家分析一下：半导体芯片洁净区的环境要求有哪些？解决方案如下：
一、半导体芯片生产环境的要求（无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科）
室内空气环境和品质的要求对于电子产品在制造、生产过程中是显得尤为严格的，控制的主要对象是微粒与浮尘，同时还对它环境新鲜的空气量、温湿度和噪声等制定出很严格的规定。
1、室内的噪声级（空态）：应小于65dB（A）
2、为避免成为局部单向流，其垂直流无尘室满布比应达60%以上，水平单向流无尘室应在50%以上
3、与室外的静压差应大于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差应在6Pa以上。
4、净化车间室内的新鲜空气量应取“补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和”的最大值
5、净化车间温度应控制在21-23℃之间，相对湿度控制在50-65%之间
6、保证供给无尘室内每人每小时的新鲜空气量大于40m³
7、净化空调系统加热器，正常应设置新风系统，超过温度可断电保护，倘若采用点加湿的时候，那就应该增加无水保护设置，寒冷地区，新风系统还应该设置防冻保护措施。
二、复杂设计施工与高建造费用（无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科）
电子芯片洁净车间洁净度要求还是很严格的，由此可知的是，它的拥有相当复杂的设计施工。相对应的洁净度越高，建造费用也就越高。例如100级（FS 209）单向流洁净室，仅室内装修与空调洁净系统的建造费用为每平方1万元。另外，中果还要再加上消防、供配电以及自控系统，建造费更是高达每平方3万元。
电子芯片洁净车间有完成了所有建造工程后，还要经过几个方面的验收：1、空态验收；2、静态验收；3、动态验收，只有完全验收合格才能投入到正常的使用中。因此，它的风险性是存在于技术上的，还要关注到后续的运行、维护以及调试、检测的问题。
三、半导体芯片温湿度控制（无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科）
半导体（FAB）洁净室中相对湿度需控制在35~50度范围内，允许误差在±1度的差距比较小的范围内，例如光刻区，或是远紫外线处理（DUV）区，也或是甚至更小，而在其他的地方是可以放松到±5度的范围内的。
半导体（FAB）洁净室中相对湿度需控制在35~50度范围内，允许误差在±1度的差距比较小的范围内，例如光刻区，或是远紫外线处理（DUV）区，也或是甚至更小，而在其他的地方是可以放松到±5度的范围内的。
因为洁净室总体表现下降的因素是相对湿度的一系列可能造成的，其中有：
1、细菌的生长；
2、工作人员感到室温舒适的范围；
3、静电荷的出现；
4、金属的腐蚀；
5、水汽的冷凝；
6、光刻退化；
7、吸水性能。
细菌和其他生物（比如：霉菌、病毒、真菌、螨虫）污染，在相对湿度不低于60度的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度高于30度时就可以呈增长性繁殖。在这里，福建永科建议的是：若想将细菌的影响以及呼吸道感染降至最低，湿度须控制在40至60度之内。（无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科）
能让人类感觉舒适的适度范围也是相对湿度在40至60度之间。当湿度过高时，人会感觉到气闷，当湿度低于30度时，人又会感觉到干燥，会导致皮肤皲裂，呼吸道不舒服以及不愉快的心情。
人们希望的结果之一：高湿度是可以减小洁净室表面的静电荷积累。低湿度较为适合电荷的积累，从而成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度大于50度时，静电荷就能在短时间内消散，但是当相对湿度低于30度时，它们是可以在绝缘体或未接地的物体表面持续存在上很长一段时间。 （无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科）
静电荷的积累问题一般在半导体洁净室是使用额外的控制装置来限制的，将相对湿度控制在35到40度之间的这种折中，是令人满意的。 （无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科）
随着相对湿度的增高，包括腐蚀过程在内的很多化学反应的速度会加快。有一种称为单分子层的水会至少覆盖一层在所有暴露在洁净室周围空气中的表面。能在高湿度状态下使反应加速的情况是：这些表面是由薄金属涂层组成，因为它可以与水反应。也存在一些特殊情况的金属，比如铝，遇到水可以形成一层保护型的氧化物，是可以阻止氧化反应再进一步的扩大；而还有另一种情况：比如氧化铜，它并不具任何保护能力，所以，在同等的高湿度的环境中，铜制品的表面则更加容易受到腐蚀。 （无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科）
此外，在相对高的湿度环境下，烘烤循环后光刻胶膨胀会加重，这是由于有水分的吸收。较高的相对湿度对光刻胶附着力同样也有一定的负面影响；在30度左右的相对低的湿度中光刻胶附着变得更加容易，已经可以达到不需要聚合改性剂的程度了。
在半导体洁净室中对相对湿度的控制并不是随意的。但是常见的被普遍接受的实践的原因及基础，随着时间的变化，我们还是需要作总结的。（无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科）
洁净室行业需要面对的下游客户的要求极其严格。像IC半导体、光电类产品制造商一次性建厂投资都相对较高，他们的生产条件有着非常严格的要求，对洁净室稳定性的要求非常的高，因为，任何一个小瑕疵都会影响芯片和面板的优良品质率。
