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简述半导体洁净车间的技术
作者:永科净化工程 来源:福建永科 发布时间:2022/10/29 浏览:675次

      计算半导体组件都是以微米作空间单位,因此在制作半导体组件的晶圆上若沾附了微尘颗粒,其上的精密导线布局的样式就有可能会被影响到,严重的会造成短路或断路。将所有半导体制程设备安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中是非常有必要的,半导体洁净车间就由此而来。(无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      现在由福建永科简述一下半导体洁净车间的相关技术和使用管理办法:

      1、半导体洁净车间内的粉尘必须只出不进,所以,要保持洁净车间室内的环境大于大气压。这时候洁净车间就需要用到大型鼓风机将经净化设备的空气源源不断地打入。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      2、大型空调设备搭配前述之鼓风加压系统使用可保持恒温与恒湿。鼓风机加压多长时间,空调就得开多长时间。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      3、洁净车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,因为,所有经净化设备的空气主要的流动方向均为由上往下,这也是为了让尘埃、细菌等在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      4、所有的建材均首选不易产生静电吸附的材质。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      5、所有进出洁净车间的人都必须穿配套防尘服,无论是人或事物都需要进经风淋室吹淋把表面粉尘先行去除。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      6、去离子水是唯一可使用在半导体洁净车间内的用水。为不影响半导体组件的工作特性,一要防止水中粉粒污染晶圆,二要防止水中重金属离子(如钾、钠离子)污染金氧半晶体管结构之带电载子信道。在半导体工业中使用去离子水的量是超级惊人的大,这缘于去离子水是最佳的溶剂与清洁剂!无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      7、氮气(98%)是半导体洁净车间所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得是它,而吹干晶圆的氮气甚至会要求99.8%以上的高纯氮。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)


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