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半导体净化车间设计装修应遵循哪些技术指标
作者:永科净化工程 来源:福建永科 发布时间:2022/12/7 浏览:778次

      

      电子生产行业有一特殊写照:电子制造业里需要建设净化车间的部分是集成电路无尘室、芯片生产车间和半导体制造车间这三大类车间。电子产品在制造与生产过程中必须严格控制微粒与浮尘,且对室内空气环境和品质的要求极为苛刻,还对其环境的新鲜空气量、温湿度、噪音程度等内容作出标准要求,这就是工业净化车间,其作用是为了电子行业中生产那部分精度高的产品能在一个合适的环境下进行,这样可以在产品的合格率、性能、寿命等方面得到提高。(无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      其实,电子厂房设计装修的净化车间不止一个,厂区一般是在新建或者升级改造的时候,开始计划整厂的装修设计。无尘受控洁净区和普通区域就是这里面的被分开的区域。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      半导体制造厂房净化工程平面分区:

1、净化车间洁净生产区

2、净化车间洁净辅助区

3、净化车间办公管理区

4、净化车间设备区

      洁净生产区建设也是为半导体净化车间存在的,在这部分工作区域内,工作人员必须进行严格的隔离措施(穿无尘服)方可进入无尘室内工作。因为穿无尘服可以防止人身上的尘埃混入到空气中,可以保障无尘车间的清洁度。大部分高精度的电子元器件是在无尘室这样的受控条件内生产的电子产品,环境要求对应着仪器设备较高的要求,精密电子产品的质量会受到不起眼的微尘的影响。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      半导体净化车间有分千级、万级或十万级,这是按照工艺要求来细分的,例如:LCD制屏的无尘车间,这属于末端工艺。如设为万级或十万级,不需要达到千级的,有:背光屏冲压无尘车间、组装净化车间洁净度。总而言之,采用不同的空气洁净度标准建设的是在净化车间有多种工艺工序时进行,这是根据工艺的不同要求而定。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      要使相应要求达到半导体净化车间洁净度的等级,按需受控的方面为:温度、湿度、风量、压差、设备排风等等,按设计或规范受控的方面为:照度、洁净室截面的风速,同时十分严格的要求静电控制。其中对湿度的要求更高。静电的产生在十分干燥的厂房内极为常见,它可造成CMOS集成损坏。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      半导体万级净化车间相关技术指标有以下几个方面:

1、半导体万级净化车间室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

2、半导体万级净化车间温度应控制在21-23℃之间,相对湿度控制在50-65%之间(特殊无尘车间有相对应的温湿度规定)。

3、半导体万级净化车间为避免成为局部单向流,其垂直流无尘室满布比应达60%以上,水平单向流无尘室应在50%以上。

4、半导体万级净化车间与室外的静压差应大于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差应在6Pa以上。

5、半导体万级净化车间室内的新鲜空气量应取“补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和”的最大值:。

6、电子厂无尘室的送风量可根据热,湿负荷计算确定,保证供给无尘室内每人每小时的新鲜空气量大于40m³。

7、半导体万级净化车间净化空调系统加热器,正常应设置新风系统,超过温度可断电保护,倘若采用点加湿的时候,那就应该增加无水保护设置,寒冷地区,新风系统还应该设置防冻保护措施。

      依据生产工艺的基础来做设计这个理论无论哪种净化车间都适用,而后需要结合预算做设备的选型,进行全面的评估,综合工艺、空间等各种因素对采用何种净化方案和净化设备选型等内容进行确定。例如:1、要求并不算太高的,可采选柜机+FFU。2、空气处理效果要最大化、噪音要低、厂房面积也比较大且预算还不算太紧的,可设计组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口的方案,并对其进行技术评估,将依照此方案为甲方推荐合理的设备选型。经技术调整后的搭配方案除了能为甲方打好基础稳定后续运行外,还可能为甲方在不必要的开支上作了节省工作。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      工业无尘室中非常富有技术性的净化工程即半导体净化车间,整个工程的优劣都体现在建设单位的技术水平上。所以,须谨慎对待半导体制造行业的净化工程,相对保险的良策就是与专业的洁净工程EPC集成服务商合作。无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)

      以上就是福建永科对半导体净化车间设计装修应遵循哪些技术指标的全部讲解,想必大家在这里也对其有了一定的认识,希望可以为大家带来帮助!无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)


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