净化车间安装按实际需要控制风量、温度、湿度、压差以及设备排风,按设计或者规范来控制照度、洁净室截面风速。
电子厂房的温度应控制在23℃上下,相对湿度控制在50-60%(特殊的洁净车间对温湿度规定也另有标准),方可有效地消除静电,并使人能感觉到舒适。电子制造行业洁净室的重要组成部分有:芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间,对室内空气环境和品质的要求严格体现在电子产品的制造与生产过程中,微粒和浮尘为是主要的控制对象,同时还对其环境的温度、湿度、新鲜空气量及噪声等作出了较为严格的规定。(无尘车间,无尘室,洁净室,净化工程,福建永科)
半导体万级净化车间相关技术指标有以下几个方面:
● 电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
● 电子制造厂洁净室为避免成为局部单向流,其垂直流无尘室满布比应达60%以上,水平单向流无尘室应在50%以上
● 电子制造厂洁净室与室外的静压差应大于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差应在6Pa以上
● 电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取“补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和”的最大值
● 保证供给无尘室内每人每小时的新鲜空气量大于40m³
● 电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。
无尘室的送风量,应取下面三项大值:
●保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量
●根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量