本文结合多年空气净化工程设计与施工的经验及市场上比较常见的洁净室建设方式,对电子商用设备企业专用的百级(100级)、千级(1,000级)、万级(10,000级)、十万级(100,000级)洁净室洁净空调设系统(新风系统)设计、冷负荷、新风量、送风量、空调气流组织形式、自动控制系统等方便来简单讨论。
百级(100级)洁净室:换气次数为400次/小时(断面风速0.36m/s);
千级(1,000级)洁净室:换气次数为80次/小时;
万级(10,000级)洁净室:换气次数为40次/小时;
十万级(100,000级)洁净室:换气次数为25次/小时;
无尘车间(洁净室)夏季冷负荷包括维护结构负荷、车间工作人员负荷、照明负荷、生产设备负荷、洁净空调机组内风机负荷、新风系统负荷等。其中,生产设备一项由甲方提供生产设备功率和设备的排气量,经计算,注洁净室面积指标在800W/m3。
电子商用设备无尘车间洁净室一般工作人员较为集中,无尘车间的新风量须综合考虑人员卫生所需要的风量、生产设备的排风量、维持洁净室正压所需的风量,经综合计算可得出,100级无尘室/洁净室净化空调送风量由总冷负荷和焓差经计算得出,而1000级以下无尘室/洁净室的净化空调送风量除由冷负荷和焓差的计算值外,还需考虑千级无尘室/洁净室换气次数,取二者的最大值,所以与百级(100级)无尘室/洁净室不同,是由于空调方式不同。
百级、千级无尘室/洁净室净化空调主要采用PAHU+AHU+FFU的空调方式,其中:PAHU为无尘室新风处理机组,AHU为无尘室循环空气处理机组,FFU为带风机的高效过滤器系统中加PAHU,洁净室正压由PAHU风机马达变频控制,同时使室外环境的变化对洁净的影响较小,对洁净室的温、湿度控制有利,每个车间均为独立的净化空调系统,净化空调机组AHU将室内抽回的回风与新风机组PAHU处理过的新风混合,经初效、中效过滤、冷却、加湿等处理后,送至洁净室天花上的技术夹层空间,再与由回风技术夹墙回到天花板上的室内空气混合,经FFU高效过滤加压后送到室内,生产设备的局部排风由排风机排至室外。
百级、千级无尘室/洁净室净化空调气流组织为上送下回单向流,天花吊顶上布置FFU送风,地板采用开孔率为18%的无尘室/洁净室架空地板或采用下侧回风口,需带调节阀,壹调节气流的流量。
万级、十万级无尘室/洁净室净化空调可采用百级、千级无尘车间同样的空调方式,也可采用AHU加末端高效过滤器的空调系统,净化空调送风量由冷负荷和焓差的计算值小于由换气次数的计算值很多时,科采用中央空调二次回风系统,以便在空中无尘室/洁净室温度和湿度的同时减少空调设备的初投资。
无尘车间/洁净室的新风经过PAHU的初、中效过滤后,再经冷却盘管处理并转轮除湿机深度除湿后送至AHU,冷却盘管的冷却功能在新风需要大量除湿时由冷水机组冷源提供冷冻水实现。
新、回风混合后经AHU的过滤、冷却、加热、加湿处理:
A、冷却:由中央冷源提供冷冻水流经AHU盘管实现冷却功能;
B、过滤:空气经置于AHU内的初、中效过滤器的过滤,再经末端高效过滤器送至室内。
C、加热:由装在AHU内的电加热或蒸汽加热器实现加热功能,加热系统只在湿度调节时起到辅助作用。
D、加湿:电极加湿器或湿膜加湿器通过安装在AHU向空气中加湿,加湿器为电极加湿器时,其供水为RO水。
洁净室工程中净化空调设备普遍采用螺杆冷水机组,冷媒为R134a,冷冻水供回水温度为7度/12度,空调水系统未一次泵变水量水系统,根据净化空调系统的水量的变化情况控制泵的运行台数,实现净化空调系统经济运行,同时净化空调系统的供水及回水主管之间设置压差旁通控制,保证供水机回水压差恒定及有足够的水流过冷水机组的蒸发器。
无尘室工程中新风机组风机马达采用变频自动控制,在保证洁净的前提下,根据无尘室/洁净室静压差调节变频器,使洁净室的静压不随生产设备的排风量的变化而变化,同时起到节能作用,无尘室/洁净室对温湿度要求较高,夏季降温、除湿均有表冷器实现,故采用温度、湿度PID输出最大值的控制方式,AHU及PAHU的冷冻水量采用等百分比二通电动调节阀进行控制,无尘室/洁净室每台AHU负责的区域较大,所以每台AHU分别分配2-3个温、湿度传感器取平均值进行温、湿度的自动控制,无尘室/洁净室空调系统的除湿主要由PAHU来完成。