电子厂无尘车间是保障芯片、显示屏等精密电子产品生产质量的核心区域，其施工需兼顾洁净度、气密性、防静电等多重技术要求。本文从围护结构搭建到净化设备安装，系统梳理无尘车间全周期施工流程，为工程方提供标准化管理参考。
一、施工准备阶段：需求分析与方案制定
1.需求确认
根据生产工艺（如半导体封装、SMT贴片）确定洁净等级（Class 100-100,000）、温湿度范围（22±1℃，湿度45%-65%）、压差梯度（核心区>辅助区>普通区）等核心参数。
2.图纸深化
结合建筑结构，优化气流组织设计（如垂直层流或水平层流），明确净化设备布局、回风口位置及管道走向，避免施工返工。
3.材料选型
围护结构优先选用彩钢板（岩棉夹芯，防火等级A级）、防静电环氧地坪（表面电阻10⁶-10⁹Ω）、气密性门窗（压差≥50Pa时泄漏率≤0.5%）。
二、围护结构施工：构建洁净空间骨架
1.主体框架搭建
采用轻钢龙骨隔断，通过激光水平仪校准垂直度，误差控制在±2mm以内。隔断与地面、顶棚连接处使用密封胶封堵，防止灰尘渗透。
2.门窗安装
气密门配备自动闭门器与互锁装置，门框与墙体间填充发泡剂；观察窗采用双层中空钢化玻璃，内部充惰性气体以减少冷凝。
3.地面处理
分三步施工：基层打磨→底涂封闭→中涂找平→面涂防静电层，每层干燥后需检测平整度（≤2mm/2m）与电阻值，不合格区域需返工。
三、净化空调系统安装：核心环境控制
1.风管制作与安装
风管采用镀锌钢板（厚度≥0.75mm），咬口连接处涂抹密封胶，法兰垫片使用闭孔海绵橡胶（压缩率＞50%）。安装后进行漏光检测，漏光率≤1%。
2.空调机组就位
组合式空调机组（MAU+AHU）需分段吊装，内部初效、中效过滤器提前安装并密封，机组与风管连接处采用柔性软接以减少振动传递。
3.高效过滤器安装
在顶棚龙骨上预留检修口，采用液槽密封或机械压紧方式安装HEPA/ULPA过滤器，安装后扫描检漏，泄漏率≤0.01%。
四、电气与工艺管道施工：保障功能完整性
1.防静电接地系统
所有金属设备、管道、围护结构通过铜芯线（截面积≥4mm²）连接至接地网，接地电阻≤1Ω，避免静电对敏感元件的损伤。
2.工艺管道布置
特气管道（如SiH₄、NF₃）采用316L不锈钢内抛光管，双卡套接头连接，坡度≥0.1%以便排液；纯水管道使用PVDF材质，循环回路配置0.1μm终端过滤器。
3.照明与监控系统
灯具选用嵌入式洁净灯（IP54防护等级），照度≥500lux且无频闪；温湿度、压差传感器安装于回风口附近，数据通过DDC控制器实时上传至监控平台。
五、调试与验收阶段：确保性能达标
1.单机调试
依次启动空调机组、风机、水泵等设备，检查转向、振动、噪音是否符合设计要求，记录运行参数（如风量、风压、温湿度）。
2.联合调试
模拟生产工况，测试气流组织（通过烟雾发生器观察流型）、压差梯度（相邻房间压差≥5Pa）、洁净度（粒子计数器检测≥0.5μm粒子数）。
3.验收交付
依据GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》进行静态、动态检测，提供完整检测报告（含粒子浓度、微生物、风速等数据），并培训甲方运维人员。
福建永科结语
电子厂无尘车间施工需以“零污染、高精度、可追溯”为原则，通过标准化流程管控与细节优化，确保车间从建设到运行始终满足生产工艺需求。唯有将技术严谨性与管理精细化相结合，方能打造出经得起时间与法规检验的高品质洁净环境。
